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電子級超純水設備

電子級超純水設備電子級超純水設備

產品簡介

電子級超純水設備,半導體超純水設備,芯片級超純水設備。 電子級超純水是指用于電子工業的超純水,其純度高達18.2MΩ*cm(即0.055ppm),同時還需要滿足一定的微生物和有機物等指標。電子級超純水作為電子元器件制造的重要原材料,廣泛應用于微電子、半導體、光電子、光學、顯示器和太陽能等領域。其中,微電子領域的應用最為廣泛,包括集成電路、半導體芯片、液晶顯示器等。

產品詳情

1:電子級超純水標準

目前,電子級超純水的標準主要包括以下幾個方面: 1.電阻率:電子級超純水的電阻率必須大于18.2MΩ*cm,以確保其較低的離子濃度和較高的純度。 2.微生物:電子級超純水中微生物的數量應小于10個微生物/毫升,以保證其高純度。 3.有機物:電子級超純水的有機物含量應小于0.5 ppb,以防止其對電子元器件產生影響。 4.顆粒物:電子級超純水中顆粒物的大小應小于0.2微米,以確保其不會對微電子元器件造成損害。

2:電子級超純水工藝特點

由于電子級超純水對微電子元器件的質量和性能有著至關重要的影響,因此在生產過程中必須要嚴格控制其質量和純度。遵循國際標準生產和銷售的電子級超純水,能夠提高電子元器件的生產工藝和產品質量,為電子工業的發展打下堅實的基礎。
電子級超純水工藝采用:二級RO+EDI+氮封水箱+拋光混床+UV殺菌+電子級微孔過濾器組成,終端管道采用進口材質Clean-PVC管道保證潔凈度要求;并配套TOC檢測儀,顆粒度檢測儀等儀表在線檢測水質情況。
產水量可達到0.5噸-200噸/小時。

3:電子級超純水設備圖片

超純水設備

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